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Download | | Starlith® 1000
Der Markt fragt nach Lösungen mit höherer Auflösung auf Basis der 248nm Wellenlänge, hauptsächlich, weil die Gesamtkosten der Chipherstellung im Vergleich zu 193 nm deutlich geringer sind. Unsere Antwort darauf ist die Entwicklung des Starlith® 1000 mit einer NA von 0.93 und einer nominellen Auflösung von 80nm. Eingesetzt wird Starlith® 1000 im TWINSCANTM XT:1000 Step&Scan System von ASML. |
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Download | | Starlith® 870
Das Starlith® 870 ist bereits die sechste Generation an DUV-Systemen und das bisherige Flaggschiff bei Carl Zeiss SMT für die 248nm Belichtungswellenlänge. Mittlerweile sind über 500 Systeme im Markt - damit ist Starlith® 870 eine der erfolgreichsten Lithografieoptiken weltweit. Eingesetzt wird Starlith® 870 im TWINSCANTM XT:870G Step&Scan System und dem PASTM/870 von ASML. |
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