1998
Eingliederung des Bereichs Carl Zeiss Mikroelektronische Systeme mit seinen Wafer- und Maskeninspektionssystemen in den Geschäftsbereich Halbleitertechnik
1998
Gründung von Carl Zeiss Laser Optics; mit Cymer wird eine strategische Partnerschaft geschlossen
 Cymer
1997
Unterzeichnung einer strategischen Partnerschaftsvereinbarung mit ASML. |  2008
2007
2006
2005
2004
2000 - 2003
1990 - 1999
1980 - 1989
1960 - 1979 |