 | | Starlith® 400
Das Optiksystem Starlith® 400 wird im sogenannten I-Line Scanner PAS 5500/400 von  ASML eingesetzt.
Es ist konzipiert für die Belichtungswellenlänge 365 nm und ermöglicht eine Auflösung von bis zu 0,28 µm.
Die im UV-Bereich liegende Strahlung einer Quecksilber-Dampflampe erfordert den Einsatz von hochreinem Spezialglas für die bis zu 30 Einzellinsen des Objektivs.
Die Anforderung an die Homogenität der Brechzahl liegen im ppm-Bereich. Das Bildfeld beträgt 26 mm x 33 mm, die numerische Apertur (NA) ist einstellbar von 0,45 bis 0,65. |