2004
Das Geschäftsjahr 2003/2004 (Oktober bis September) wird mit 540 Mio € sehr erfolgreich abgeschlossen.
2004
Erhalt des "Best Product Awards" der Fachzeitschrift International Semiconductor für das  Crossbeam 1540 XB des Geschäftsbereichs Nano Technology Systems.
2004
Aus der LEO GmbH wird die Carl Zeiss NTS GmbH (Geschäftsbereich Nano Technology Systems).
2004
Das gemeinsam mit dem Unternehmen NaWoTec entwickelte Maskenreparatursystem MeRiT erhält den Innovationspreis der Deutschen Wirtschaft.
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