 | Unsere Kompetenzen
- Holografische Gitter mit oder ohne Aberrationskorrektur
- Mechanisch geteilte Gitter
- Ionenstrahlätzen zum Übertragen des Gitters in das Substrat oder um das Furchenprofil zu modifizieren
- Beschichtung
- Replikation
- Messung der Oberflächenpasse und Mikrorauigkeit des Substrats
- Optische Testverfahren zur Überprüfung von Furchendichte, abbildenden Eigenschaften, Wellenfrontfehler, spektraler Auflösung und Beugungseffizienz sowie
- Rasterkraftmikroskop-Messungen des Furchenprofils.
Erreichbare Spezifikationen
- Spektralbereiche XUV, VUV, VIS, IR
- Furchendichte bis zu 6600 Linien/mm (Standard
4100Linien/mm)
- Blaze-Wellenlänge 10nm bis 5µm +/- 20%
- Blaze-Winkel >= 0,5°
- Korrektur von Aberrationen
- Alle gängigen Substratmaterialien und Beschichtungen
- Gittergröße bis 220mm
- Plane, sphärische und komplexe asphärische Substratformen
- UHV Kompatibilität
Wir entwickeln unsere Technologien ständig weiter.
Kontaktieren Sie uns, falls Sie Ihre Anforderung hier nicht wiederfinden. Gerne diskutieren wir Ihre Anwendung mit Ihnen, damit wir Ihnen die optischen Komponenten mit dem besten Preis-/Leistungsverhältnis liefern können.
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