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| Carl Zeiss SMT unterstützt die Chipindustrie weltweit mit einem breiten Spektrum an Produkten und Lösungen. Schlüsselprodukte hierfür sind die Lithographieoptiken für Waferstepper und Scanner von ASML.
Darüber hinaus umfasst unser Produktportfolio optische Komponenten und Subsysteme für Lithographielaser von Cymer sowie Synchrotronoptiken. SMT bietet außerdem anspruchsvolle Maskeninspektionssysteme und elektronenstrahlbasierte Maskenreparatursysteme. |